Vakuum Sisteminin tətbiqi Vakumlu sinterləmə sobası

Vakuum sistemləri ümumiyyətlə müxtəlif birləşmələrə malikdir. Seçim iş zamanı tələb olunan vakuuma əsaslanır. Ümumi vakuum sistemləri aşağıdakılardır:

(1) Aşağı vakuum sistemi: mexaniki nasos (fırlanan qanadlı nasos və ya sürüşmə klapan pompası) ilə təchiz olunmuşdur, son vakuum təxminən 10 Pa-ya çata bilər;

(2) Orta vakuum sistemi: Roots nasosunun və mexaniki nasosun (fırlanan qanadlı nasos və ya sürüşmə klapan pompası) birləşməsi ilə təchiz edilmişdir və son vakuum 2 × 10-1 Pa-a çata bilər;

(3) Yüksək vakuum sistemi: Ümumiyyətlə diffuziya pompası + Roots nasosu + mexaniki nasos (fırlanan qanadlı nasos və ya sürüşmə klapan pompası) kimi konfiqurasiya edilmiş, son vakuum 2×10-3 Pa-ya çata bilər;

(4) Ultra yüksək vakuum sistemi: turbomolekulyar nasos + Roots nasosu + mexaniki nasos (fırlanan qanadlı nasos və ya sürüşmə klapan pompası), son vakuum dərəcəsi 2 × 10-4 Pa-ya çata bilər.