Vákuumrendszer bevezetése Vákuum zsugorító kemence

A vákuumrendszerek általában többféle kombinációval rendelkeznek. A kiválasztás a munka során szükséges vákuum alapján történik. Az általános vákuumrendszerek a következők:

(1) Alacsony vákuumrendszer: mechanikus szivattyúval (forgólapátos szivattyúval vagy tolószelepes szivattyúval) felszerelt, a végső vákuum elérheti a körülbelül 10 Pa-t;

(2) Közepes vákuumrendszer: Roots szivattyú és mechanikus szivattyú (forgólapátos szivattyú vagy csúszószelepes szivattyú) kombinációjával van felszerelve, és a végső vákuum elérheti a 2 × 10-1 Pa-t;

(3) Nagy vákuumrendszer: Általában diffúziós szivattyúként + Roots szivattyúként + mechanikus szivattyúként (forgólapátos szivattyú vagy csúszószelepes szivattyú) van beállítva, a végső vákuum elérheti a 2 × 10-3 Pa-t;

(4) Ultra-nagy vákuumrendszer: turbomolekuláris szivattyú + Roots szivattyú + mechanikus szivattyú (forgólapátos szivattyú vagy csúszószelepes szivattyú), a végső vákuumfok elérheti a 2 × 10-4 Pa-t.