Introduktion af vakuumsystem af Vakuum sintringsovn

Vakuumsystemer har generelt en række forskellige kombinationer. Udvælgelsen er baseret på det vakuum, der kræves under arbejdet. Fælles vakuumsystemer er som følger:

(1) Lavvakuumsystem: udstyret med mekanisk pumpe (roterende vingepumpe eller glideventilpumpe), det ultimative vakuum kan nå omkring 10 Pa;

(2) Mellemvakuumsystem: Det er udstyret med en kombination af Roots-pumpe og mekanisk pumpe (roterende vingepumpe eller glideventilpumpe), og det ultimative vakuum kan nå 2×10-1 Pa;

(3) Højvakuumsystem: Generelt konfigureret som diffusionspumpe + Roots pumpe + mekanisk pumpe (roterende vingepumpe eller glideventilpumpe), kan det ultimative vakuum nå 2×10-3 Pa;

(4) Ultrahøjvakuumsystem: turbomolekylær pumpe + Roots pumpe + mekanisk pumpe (roterende vingepumpe eller glideventilpumpe), den ultimative vakuumgrad kan nå 2×10-4 Pa.