Wprowadzenie systemu próżniowego Piec do spiekania próżniowego

Systemy próżniowe mają na ogół różne kombinacje. Dobór opiera się na próżni wymaganej podczas pracy. Popularne systemy próżniowe są następujące:

(1) Układ niskiego podciśnienia: wyposażony w pompę mechaniczną (pompa łopatkowa lub pompa suwakowa), próżnia końcowa może osiągnąć około 10 Pa;

(2) System średniego podciśnienia: jest wyposażony w kombinację pompy Rootsa i pompy mechanicznej (pompa łopatkowa lub pompa suwakowa), a końcowa próżnia może osiągnąć 2×10-1 Pa;

(3) System wysokiego podciśnienia: ogólnie skonfigurowany jako pompa dyfuzyjna + pompa Roots + pompa mechaniczna (pompa łopatkowa lub pompa suwakowa), próżnia końcowa może osiągnąć 2 × 10-3 Pa;

(4) Układ ultrawysokiej próżni: pompa turbomolekularna + pompa Roots + pompa mechaniczna (pompa łopatkowa lub pompa suwakowa), maksymalny stopień podciśnienia może osiągnąć 2 × 10-4 Pa.