Впровадження вакуумної системи Вакуумна піч для спікання

Вакуумні системи зазвичай мають різноманітні комбінації. Вибір здійснюється на основі вакууму, необхідного під час роботи. Поширені вакуумні системи:

(1) Низьковакуумна система: оснащена механічним насосом (роторно-лопатевим насосом або насосом із затвором), граничний вакуум може досягати приблизно 10 Па;

(2) Середня вакуумна система: вона оснащена комбінацією насоса Рутса та механічного насоса (роторно-лопатечний насос або насос із затвором), а максимальний вакуум може досягати 2×10-1 Па;

(3) Система високого вакууму: зазвичай конфігурована як дифузійний насос + насос Рутса + механічний насос (роторний насос або насос із кран-клапаном), граничний вакуум може досягати 2×10-3 Па;

(4) Система надвисокого вакууму: турбомолекулярний насос + Рутс насос + механічний насос (роторно-лопательний насос або насос із засувним клапаном), граничний ступінь вакууму може досягати 2×10-4 Па.